产品详情
处理方式:
通过高压震荡风吹出把工作物表面粉尘吹离膜面,再利用负压风同时带离
表面,造成无接触式除尘,是一种高效安全清洁的干式去除粉尘设备
需要去除的产品表面的污染物类型:主要是干燥的颗粒浮尘; (粘性尘埃
及水迹不能处理)
除去率:1.6 um, 3μm-5μm≥98%
工作尺寸:点状或长度L=20-500mm(超过500mm亦可订制)
干式清洗特点:
- 干式清洗不需要更换水或药液,洗后不用干燥,降低运行成本
- 非接触式系统不会污染基板及损伤基板表面膜
- 由于清洗机是闭循环系统,不会污染净化间





