主营产品：上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | CSF-17-80-2A-R |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 中等冲击载荷 |
| 传动比级数 | 三级 | 轴的相对位置 | 卧式减速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 硬齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 减速机 |
| 输入转速 | 3000rpm | 额定功率 | 111kw |
| 输出转速范围 | 47.6rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 化工 | 减速比 | 564 |
| 产地 | 日本 | ||
学术或研发单位中之电路布局较为简易，harmonic单晶硅谐波传动CSF-17-80-2A-R 一套电路布局可全部写在一片光罩中，或甚至多重复制。加上使用之硅晶圆尺寸较小，配合使用之光罩本来就不大。所以搭配使用之硅晶圆曝光机台为一般的「光罩对准机」(maskaligner，如图2-7)。换言之，一片晶圆只需一次对准曝光harmonic单晶硅谐波传动CSF-17-80-2A-R ，便可进行之后的显影及烤干程序。但在业界中，使用的晶圆大得多，我们不可能任意造出7吋或9吋大小的光罩来进行对准曝光：一来电子束书写机在制备这样大的光罩时，会耗损巨量的时间，极不划算；二来，大面积光罩进行光蚀刻曝光前与晶圆之对准，要因应大harmonic单晶硅谐波传动CSF-17-80-2A-R 面积精密定位及防震等问题，极为棘手！所以工业界多采用步进机（stepper）进行对准曝光
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