日本HD光刻工艺谐波CSG-20-80-2UH

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上海浜田实业有限公司

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  • 经营模式: 代理商-私营有限责任公司
  • 所在地区:上海 嘉定区
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详细参数
品牌HarmonicDrive型号CSG-20-80-2UH
类型谐波减速器载荷状态强冲击载荷
传动比级数双级轴的相对位置卧式减速器
传动布置形式同轴式加工定制
样品或现货样品齿面硬度硬齿面
布局形式三环式用途减速机
输入转速3000rpm额定功率111kw
输出转速范围47.6rpm许用扭矩22N.m
使用范围军工减速比564
产地日本

产品详情

晶圆制造工艺过程

    半导体芯片制造即晶圆制造是一个非常复杂的过程。日本HD光刻工艺谐波CSG-20-80-2UH在半导体制造工艺中COMS技术具有代表性,我们以COMS工艺为例说明半导体制造的基本流程。COMS工艺流日本HD光刻工艺谐波CSG-20-80-2UH程中的主要制造步骤,基本工艺过程包括硅片氧化工艺、在氧化硅表面涂敷光刻胶、使用紫外光曝光、曝光后显影露出氧化硅表面、刻蚀氧化硅表面、去除未曝光的光刻胶、形成栅氧化硅、多晶硅淀积、多晶硅光刻及刻蚀、离子注入、形成有源区、氮化硅淀积、日本HD光刻工艺谐波CSG-20-80-2UH接触刻蚀、金属淀积与刻蚀。

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