主营产品：3D轮廓仪，3D形貌轮廓测量机，微纳米气浮平台
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 星纳微KINAVI | 型号 | KIN-2 |
| 加工定制 | 是 | 用途 | 微纳米气浮平台,二轴龙门气浮平台,微纳米定位 |
| 电源 | 220V | 功率 | 2KW |
| 外形尺寸 | 1500*1500 | 重量 | 1吨 |
| 产地 | 天津 | ||
产品概述：
高精度气浮平台是一种利用空气轴承技术实现无摩擦、高精度运动的设备。它通过压缩空气在平台与底座之间形成一层极薄的气膜，使平台能够以极低的摩擦力和高稳定性进行移动。这种平台广泛应用于精密制造、光学检测、半导体加工、纳米技术等领域，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
特点：
直线度、重复性和定位精度极高。
速度快、同步性高。
高度定制化（不同的承载、不同的行程、不同的精度要求、不同的电气控制和不同的使用环境)
典型应用场景:
1).光刻机：用于半导体制造中的高精度对准和曝光。
2).光学检测设备：用于镜头、棱镜等光学元件的精密检测。
3).纳米压印设备：用于纳米级图案的复制和加工。
4).精密测量仪器：如三坐标测量机、激光干涉仪等。
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