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爱德华干式真空泵：零油污染，适配半导体、质谱与航天测试，磁悬浮技术寿命超10万小时
性能特点与核心优势
1. 零油污染，洁净真空革命
- 干式无油运行：采用非接触式螺杆与爪式压缩技术，完全摒弃润滑油，避免油蒸气反流污染真空腔体，满足半导体制造、质谱分析等对洁净度要求严苛的场景。
- 低颗粒物释放：精密加工腔体与表面硬化涂层工艺，减少摩擦微粒产生，保障航天器真空测试中敏感元件的安全性。
2. 磁悬浮技术驱动长效寿命
- 超10万小时连续运行：磁悬浮轴承消除机械磨损，对比传统油润滑泵寿命提升3倍以上，显著降低设备停机与维护成本。
- 低振动与低噪音：主动磁悬浮控制技术抑制转子振动，噪音低于65dB，适配实验室、无尘车间等安静环境需求。
3. 高效节能与智能控制
- 变频节能技术：根据负载动态调节转速，能耗较传统泵降低40%，支持企业ESG（环境、社会与治理）目标达成。
- IoT智能监控：内置传感器实时反馈压力、温度、振动数据，支持云端接入与异常预警，实现预防性维护。
4. 多行业兼容性
- 适配宽泛压力范围（10⁻⁴ mbar至大气压），可集成至半导体刻蚀设备、质谱仪离子源、航天器真空热试验舱等多样化系统。
行业应用场景
1. 半导体芯片制造
- 用于刻蚀机、CVD/PVD镀膜设备，避免油污染导致的晶圆缺陷，提升28nm以下先进制程良率。
2. 质谱分析仪器
- 为质谱仪离子源与检测器提供稳定无油真空环境，确保痕量气体检测的精准度与重复性。
3. 航天器真空热试验
- 在卫星、火箭组件真空热试验中耐受极端温度循环（-150℃至+120℃），保障测试可靠性。
4. 制药与生物工程
- 支持冻干机、无菌灌装线的洁净真空需求，符合GMP认证标准。
爱德华干式真空泵以零污染、超长寿命与多场景适配性，成为高附加值产业的真空技术选择
- 技术领先性：磁悬浮技术突破传统泵寿命瓶颈，MTBF（平均无故障时间）达行业顶尖水平。
- 全流程洁净保障：从芯片制造到药品封装，彻底消除油污染风险，降低产品报废率。
- 全生命周期成本优势：10万小时免维护设计+智能节能系统，帮助客户降低30%以上综合运营成本。
- 全球化技术支持：爱德华提供定制化真空方案设计与快速备件供应，覆盖欧洲、亚洲、美洲主要工业区。
