主营产品：工业烤箱、隧道炉、干燥机、试验箱、干燥箱
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 志昇 | 型号 | OLC |
| 操作方式 | 连续 | 干燥介质 | 无需介质 |
| 物料输送方式 | 静置 | 加工定制 | 是 |
| 温度范围 | 1000 | 升温时间 | 非标 |
| 控温精度 | 非标 | 均匀度 | 100 |
| 主要用途 | 电子元器件工业烤箱 | 材质 | 非标 |
| 功率 | 18 | 产地 | 深圳市 |
晶圆级半导体芯片工业烘烤箱采用氮气环境控制系统，氧含量可稳定控制在10ppm以下，满足28nm以下制程对氧化敏感的严格要求。多温区独立加热模块配合铂电阻传感器，实现200mm晶圆表面±0.3℃的温场均匀性，某3D封装客户实测数据表明，TSV硅通孔结构的翘曲率降低至0.12μm/mm。腔体采用电抛光316L不锈钢材质，表面粗糙度Ra≤0.4μm，配合ULPA超高效过滤器，使0.1μm颗粒沉降量控制在5pcs/ft³以下。智能压力调节系统支持10-760Torr真空烘烤模式，有效消除BGA焊球中的微气泡，某存储芯片厂商应用后良率提升3.2个百分点。能耗优化方面，回收装置将废气热能转化效率提升至65%，12英寸晶圆产线年节约液氮消耗超80吨。SECS/GEM协议兼容性实现与AMHS自动物料系统的无缝对接，可追溯每批次晶圆的120组工艺参数，配合AI算法自动补偿光刻胶固化中的热历史效应。安全模块包含四级互锁防护与VOC低温催化分解单元，符合SEMI S2/S8标准，现已扩展应用于CIS图像传感器钝化层固化、GaN功率器件退火等先进工艺。
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