欧姆龙成功事例 | ecvd设备腔体的温度均衡控制方案
应用介绍
【行业】pv
【设备】pecvd
【用途】在太阳能电池表面沉积薄膜，提高电池的效率和性能
应用场景
单台设备分为5个炉管，每个炉管分为6个温区，通过串级控制实现对腔体内部的控温。
解决课题
1、关乎镀膜效率的核心数据：升温和回温速度较慢，从0度升到目标500度需要40分钟以上；加入气体以及硅片回温到目标温度需要15分钟。
2、温控精度影响镀膜的均匀度以及电池效率，目前设备只能达到±5℃。
价值提案
核心产品：温度控制单元 nx-tc
■自带外部干扰抑制功能，能够针对可预测的外部干扰预先抑制温度变化。实现升温时间（40min→35min）与回温时间（15min→13min）的缩短。
■启动时自动调整pid，有效削减繁琐调整的工时。温控稳定（ ±5℃ → ±3℃）
相关产品
nx系列 温度控制单元 nx-tc
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3699/
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